高純氣體/特種氣體管路的設計要點
作者：zssy 添加時間：2020-02-11 16:06:17
1、對于不同特性的氣體，要規(guī)劃***立的供應區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口。
2、管路設計要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高。通常較合理的設計流速為20ml/s，可燃氣體小于10ml/s，***行/腐蝕性氣體小于8ml/s，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4～3/8。
3、根據用氣設備的分布，高純氣體的官網不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。
4、管路中應減少不流動氣體的“死空間”，不應設有盲管。
5、對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。
6、為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，輸送系統(tǒng)除了設置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或氧雜質含量等分析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進行采樣，分析高純氣體中各種雜質的含量。
7、在亞微米級的集成電路生產中，要求供應10-9級的高純氣體，為了確保末端勇氣工藝設備處的氣體純度，使氣體中的雜質含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內，一般在設備前設置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。
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